羅茨泵的真空除取決于泵本身結構和制造精度外,還取決于前級泵的真空.為了提高泵的真空度,可將LC羅茨泵串聯使用.羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似
.由于轉子的不斷旋轉,被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間內,再經排氣口排出.由于吸氣后空間是全封閉狀態,所以,在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹.
當轉子頂部轉過排氣口邊緣,空間與排氣側相通時,由于排氣側氣體壓強較高,則有一部分氣體返沖到空間中去,使氣體壓強突然增高.當轉子繼續轉動時,氣體排出泵
外.羅茨泵在泵腔內,有二個“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動.在轉子之間,轉子與泵殼內壁之間,保
持有_的間隙,可以實現高轉速運行.
羅茨泵轉子與泵殼之間的縫隙很小,僅為0.1mm左右,所以使羅茨泵有壓縮比,其真空可進入0. 1 Pa,與機械泵組成機組作為高真空泵的前級泵,可以抑制機械泵的油返流.
當前級機械泵工作狀況差時,不能將羅茨泵排出的氣體及時抽走,會造成羅茨泵排氣口壓強過高,真空變差,此時轉子受到的阻力增大,摩擦生熱較高,容易使電機燒毀.為了避免這一現象,通常在羅茨泵中安裝過載保護閥.當保護閥兩邊的壓強差大于幾千帕時,閥門打開,減輕轉子的負載.